[实用新型]一种物理气相沉积设备用工件转动盘架

摘要

本实用新型涉及一种物理气相沉积设备用工件转动盘架，包括支撑台，其特征是：支撑台的上方设置有水平的底盘，底盘与支撑台之间设置有支撑机构，支撑机构的下端与支撑台连接固定，支撑机构的上端与底盘转动连接，使得底盘可以在水平面内转动，底盘上设置有水平的转动盘，转动盘与底盘转动连接，使得转动盘可以在水平面内转动，支撑机构的上部设置有与底盘同轴的齿环，转动盘同轴连接有齿轮，齿轮与齿环啮合。将工件放在转动盘上后，在物理气相沉积的过程中转动旋转盘架，工件在随底盘移动的同时其自身还会在转动盘上往复进退，大大提高了对工件方位调节的灵活度，有利于对工件的充分喷涂，使其表面更均匀成膜。