[实用新型]一种剥离液废液处理系统有效
| 申请号： | 202222144073.0 | 申请日： | 2022-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN218025699U | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 张伟明;章学春;李玉兴;梁重时 | 申请（专利权）人： | 上海盛剑微电子有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/04 | 分类号： | C02F9/04;C02F101/20 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张洋 |
| 地址： | 201400 上海市奉贤区上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种剥离液废液处理系统，涉及废液回收技术领域。光刻胶剥离液处理系统包括依次连接的第一缓冲装置、回收装置以及第二缓冲装置。第一缓冲装置用于使由剥离液作用于光刻胶生成的废液依次经过回收装置以及第二缓冲装置，其中，回收装置用于过滤废液中的光刻胶渣质、颗粒物以及杂质离子以获得回收液，第二缓冲装置用于接收并处理回收液，以生成剥离液，从而使得剥离废液能够重复循环利用，延长了剥离液的使用寿命，也一定程度上增强了剥离液的剥离性能，节约了资源并降低使用成本，同时有效地减少环境污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 剥离 废液 处理 系统 | ||
【主权项】：
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