[实用新型]劈裂设备有效
| 申请号： | 202222212752.7 | 申请日： | 2022-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN218196123U | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 周福海;余俊华;胡心悦;尹建刚;邹志勇;高云峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市大族半导体装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/304;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种劈裂设备。劈裂设备包括：机台；定位平台，设于机台上，用于对料片进行定位；第一相机模组，设于定位平台的上方，用于对定位平台上的料片进行拍摄；劈裂平台，设于机台上，用于支撑料片进行劈裂；劈裂平台与定位平台沿第一方向依次设置；第二相机模组，设于劈裂平台的上方，用于对劈裂平台上料片的正面进行拍摄；第三相机模组，设于劈裂平台的下方，用于对劈裂平台上料片的背面进行拍摄。本申请提供一种能对劈裂平台上料片的正面和背面进行拍摄，适用与不同类型料片劈裂的劈裂设备。 | ||
| 搜索关键词： | 劈裂 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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