[实用新型]一种用于合金溅射靶材制备的金属熔炼设备有效
申请号: | 202222230281.2 | 申请日: | 2022-08-24 |
公开(公告)号: | CN218097183U | 公开(公告)日: | 2022-12-20 |
发明(设计)人: | 陈箫箫 | 申请(专利权)人: | 亚芯半导体材料(江苏)有限公司;亚芯电子科技(常州)有限公司 |
主分类号: | F27B14/00 | 分类号: | F27B14/00;F27D17/00;C23C14/34 |
代理公司: | 常州市权航专利代理有限公司 32280 | 代理人: | 金啸 |
地址: | 213000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于合金溅射靶材制备的金属熔炼设备,涉及金属熔炼技术领域。本实用新型包括熔炼炉、烟尘罩、第一连接管、第二连接管、旋风除尘器,第一连接管上固定有热交换管,热交换管远离第一连接管的一端与第二连接管固定连接,热交换管内部设置有呈螺旋状的空心金属管,空心金属管两端均固定有与空心金属管内腔连通的空心直管,两空心直管分别贯穿第一连接管、第二连接管。本实用新型通过在两连接管之间设置热交换管,并在热交换管内部设置能够对热量进行吸附的空心金属管,将废气烟尘中的热量用于对鼓入的空气加热,提高对金属的熔炼速度,能够再次对烟尘废气中的热量利用,进而降低了对能源的消耗。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 合金 溅射 制备 金属 熔炼 设备 | ||
【主权项】:
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