[实用新型]一种晶圆载具的生产模具有效
| 申请号： | 202222233680.4 | 申请日： | 2022-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN218256360U | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 李德平;强音 | 申请（专利权）人： | 德赢创新（上海）半导体设备技术有限公司 |
| 主分类号： | B29C45/17 | 分类号： | B29C45/17 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201600 上海市松江区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆载具的生产模具，属于晶圆载具加工生产技术领域，包括下模座，下模座顶部通过导向杆固定有顶板，导向杆上套设安装有上模座，下模座顶部处设置有下模具，上模座底部安装有上模具，下模具顶部处安装有固定板，上模座底部和下模具顶部处均开设有卡接腔，卡接腔内设置有定位组件，固定板底部以及上模具顶部均突出设置有卡接块；定位组件包括转动杆，转动杆的中段处套设安装有蜗轮，蜗轮上对称套设安装有J型的定位块，卡接腔内横向转动安装有蜗杆，卡接块的两端开设有供定位块卡接的卡紧槽。该一种晶圆载具的生产模具，可以在对不同尺寸的晶圆载具进行生产时，直接更换可拆卸的上模具和下模具，降低拆卸以及操作难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆载具 生产 模具 | ||
【主权项】：
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