[实用新型]冷却组件和晶体生长设备有效
申请号: | 202222327735.8 | 申请日: | 2022-08-31 |
公开(公告)号: | CN217922424U | 公开(公告)日: | 2022-11-29 |
发明(设计)人: | 陈俊宏 | 申请(专利权)人: | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 于腾昊 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种冷却组件和晶体生长设备,冷却组件用于对晶体进行冷却,冷却组件包括集流件和换热件,集流件具有多组通口组,每组通口组包括第一通口组和第二通口组,集流件限定出分隔的第一集流腔和第二集流腔,多组第一通口组均形成于第一集流腔,每组第一通口组包括多个沿周向间隔设置的第一通口,多组第二通口组均形成于第二集流腔,且沿径向内外间隔设置,每组第二通口组包括多个沿周向间隔设置的第二通口,换热件呈环形设置且形成有多个冷却通道,换热件可选择地与任一通口组连通,每个冷却通道连通通口组的对应第一通口和对应第二通口。根据本实用新型的冷却组件,可以用于对不同直径的晶体进行冷却,具有良好的适配性。 | ||
搜索关键词: | 冷却 组件 晶体生长 设备 | ||
【主权项】:
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