[实用新型]一种电子枪蒸发光学镀膜机有效
申请号: | 202222332898.5 | 申请日: | 2022-09-01 |
公开(公告)号: | CN217948242U | 公开(公告)日: | 2022-12-02 |
发明(设计)人: | 邓额 | 申请(专利权)人: | 深圳市仲晶科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/30 | 分类号: | C23C14/30 |
代理公司: | 深圳市育科知识产权代理有限公司 44509 | 代理人: | 李丽洪 |
地址: | 518107 广东省深圳市光明区新湖*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型属于光学镀膜技术领域,尤其为一种电子枪蒸发光学镀膜机,包括镀膜箱体,所述镀膜箱体的上端固定连接有基板放置机构,所述镀膜箱体的内下壁中部设置有坩埚,所述镀膜箱体的内下壁右部固定连接有电子枪本体,且电子枪本体的下端位于坩埚的上侧,所述镀膜箱体的内下壁前部开有穿通的圆孔,所述镀膜箱体的前端左部活动安装有密封门,所述密封门的前端右部设置有控制键盘,所述镀膜箱体的下部之间共同固定连接有底板,所述底板的上端固定连接有降温机构,且降温机构的上部穿过圆孔并延伸至镀膜箱体内。本实用新型所述的一种电子枪蒸发光学镀膜机,能够对多个基板同时进行镀膜,故而提高了镀膜机的整体工作效率,便于人员使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 电子枪 蒸发 光学 镀膜 | ||
【主权项】:
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