[实用新型]一种薄膜体声波谐振器及滤波器有效
| 申请号： | 202222334481.2 | 申请日： | 2022-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN218335976U | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 缪建民;杨应田;张瑞珍;王志宏 | 申请（专利权）人： | 华景科技无锡有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/56;H03H9/58 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 岳晓萍 |
| 地址： | 214131 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种薄膜体声波谐振器及滤波器。一种薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底的一侧设置有一个空腔；振子，所述振子设置在所述衬底设置有空腔的一侧，所述振子在所述衬底上的投影覆盖所述空腔在所述衬底上的投影，所述振子贯穿开设若干个连接所述空腔的通孔；所述多个通孔为椭圆孔，所述椭圆孔沿平行于所述衬底平面方向的横截面为椭圆形，所述椭圆孔的延伸方向垂直于所述衬底所在的平面；反射结构，所述反射结构位于所述第二电极远离所述衬底的一侧。通过添加椭圆孔可以有效抑制横向寄生杂波的共振，而第二电极上反射结构的设计还可以进一步增强整体结构对横向声波的反射，减少能量泄露。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 滤波器 | ||
【主权项】：
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