[实用新型]一种集成电路芯片静电消除组件有效
申请号: | 202222343190.X | 申请日: | 2022-09-01 |
公开(公告)号: | CN218162969U | 公开(公告)日: | 2022-12-27 |
发明(设计)人: | 刘志刚;陈友兵 | 申请(专利权)人: | 池州睿成微电子有限公司 |
主分类号: | H05F3/06 | 分类号: | H05F3/06 |
代理公司: | 合肥左心专利代理事务所(普通合伙) 34152 | 代理人: | 杨兆鹏 |
地址: | 247100 安徽省池州市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种集成电路芯片静电消除组件,涉及集成电路芯片生产辅助设备技术领域,包括底板和离子喷射管,所述底板上滑动套装有两组辅助离子喷射管夹持固定的支撑架。该集成电路芯片静电消除组件,通过转盘和双向螺杆以及支撑架和夹持座的配合使用,使得该集成电路芯片静电消除组件在夹持座上设置了辅助离子喷射管夹持固定的组件,需要对离子喷射管进行固定时,旋转转盘可带动双向螺杆转动,继而通过双向螺杆外部的双向螺纹推动两组支撑架相互靠近,通过支撑架带动夹持座移动,使得夹持座内侧的组件向离子喷射管的两端靠近,直至将离子喷射管的两端夹持固定,保证离子喷射管下方喷头的稳定工作。 | ||
搜索关键词: | 一种 集成电路 芯片 静电 消除 组件 | ||
【主权项】:
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