[实用新型]一种单晶炉中副室的安装结构有效
| 申请号： | 202222347676.0 | 申请日： | 2022-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN218089891U | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 陈辉;常晓鱼;黄鸣 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 陈永军 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种单晶炉中副室的安装结构，涉及单晶炉技术领域，本申请中单晶炉中副室的安装结构包括光轴、用于与单晶炉机架相连接的立柱以及用于与副室相连接的副室连接架；光轴竖向设置且轴向滑动、周向限位的连接在立柱的一侧，立柱上设有能够带动光轴上下移动的第一驱动组件；副室连接架上固设有第一轴座，第一轴座可转动的套设在光轴上且光轴能够带动第一轴座上下移动；副室连接架上设置有驱动齿轮以及驱动驱动齿轮转动的第二驱动组件，光轴上固设有与驱动齿轮相啮合的从动齿轮。本申请中采用驱动齿轮与从动齿轮的啮合传动实现副室旋转，能够有效降低旋转卡滞现象，提高副室旋转的稳定性以及顺畅性，且其旋转动作和角度更加精准可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉中副室 安装 结构 | ||
【主权项】：
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