[实用新型]一种适用于金属掩膜版的缓冲单元和加工装置有效
| 申请号： | 202222362818.0 | 申请日： | 2022-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN219216980U | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 李坤鹏;杜勇;徐华伟;沈洵 | 申请（专利权）人： | 浙江众凌科技有限公司 |
| 主分类号： | B65H20/02 | 分类号： | B65H20/02;C23F1/08;B65H26/04 |
| 代理公司： | 杭州凯知专利代理事务所(普通合伙) 33267 | 代理人： | 金国栋;孙安程 |
| 地址： | 314200 浙江省嘉兴市海宁市海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种适用于金属掩膜版的缓冲单元和加工装置，包括：机架；第一从动辊，设置于机架一端；第二从动辊，设置于机架另一端；驱动辊，滑动设置于机架上，且位于第一从动辊和第二从动辊之间；金属掩膜版依次绕过第一从动辊、驱动辊、第二从动辊设置；驱动电机，设置于机架一侧，连接于驱动辊上，用于驱动驱动辊于机架上升降，本实用新型通过可升降设置的驱动辊来存储、释放金属掩膜版，并保证金属掩膜版蚀刻时的张力稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 金属 掩膜版 缓冲 单元 加工 装置 | ||
【主权项】：
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