[实用新型]一种方便无蜡抛光取片避免产品蹭伤的工装有效
| 申请号： | 202222442897.6 | 申请日： | 2022-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN218341797U | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | 韩志宇;吴延;张超仁;黄春峰 | 申请（专利权）人： | 中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06;B24B41/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州高专知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32474 | 代理人： | 冷泠 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种方便无蜡抛光取片避免产品蹭伤的工装，包括车架，所述车架的顶部设置有水箱，所述水箱内部的一侧设置有底座，所述底座的顶部通过垫片设置有底板，所述底板上设置有自上而下的水溢出槽，所述水溢出槽之间设有互通的水溢出孔。该一种方便无蜡抛光取片避免产品蹭伤的工装，工装整体结构稳定，员工操作简易，工装侧板与后板的设计，可以有效的减少硅片装片过程时，与侧板的摩擦，减少装片过程中的硅片异常受损和边缘受损，便于从后侧间取硅片碎片，底板溢水设计，可方便取湿硅片，可以很好的解决在没有下料台时的硅片下料问题，减少破片率，提高生产效率，达到了自动下料设备的设计要求，并相对减少了投入成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 方便 抛光 避免 产品 工装 | ||
【主权项】：
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