[实用新型]一种多晶硅体金属检测前处理消解装置有效

专利信息
申请号: 202222467637.4 申请日: 2022-09-19
公开(公告)号: CN218725914U 公开(公告)日: 2023-03-24
发明(设计)人: 王雅茹;李日红;冯曙光;靳晓东;侯海波;袁中华;何鹏 申请(专利权)人: 内蒙古通威高纯晶硅有限公司
主分类号: G01N1/44 分类号: G01N1/44;G01N27/62
代理公司: 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 代理人: 潘涛
地址: 014000 内蒙古自治区*** 国省代码: 内蒙古;15
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种多晶硅体金属检测前处理消解装置,属于多晶硅生产技术领域,包括电热消解仪,电热消解仪上设有用于放置消解管的消解插孔,电热消解仪上方设有防护罩,防护罩一端设有惰性气体进管,防护罩另一端设有出气管。消解管内加入多晶硅、水、硝酸和氢氟酸溶液,将消解管插入消解插孔内,启动电热消解仪,溶液中的硅以SiF4的形式挥发;然后用硝酸溶液溶解残渣,用超纯水定容后利用电感耦合等离子体质谱仪(ICP‑MS)测定溶液中待分析金属元素的含量。本装置具有操作简单,防护罩减少外界杂质影响。
搜索关键词: 一种 多晶 金属 检测 处理 消解 装置
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于内蒙古通威高纯晶硅有限公司,未经内蒙古通威高纯晶硅有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202222467637.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top