[实用新型]一种多面间接性超声波清洗槽有效
| 申请号： | 202222514198.8 | 申请日： | 2022-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN218282938U | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 左国军;申斌;成旭;杨文涛;谈丽文;何其斌;任金枝 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 | 代理人： | 彭正红 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及泛半导体及半导体清洗技术领域，具体涉及一种多面间接性超声波清洗槽，具有外槽，外槽设有石英内槽，石英内槽设有花篮，外槽设有多个对应于石英内槽的超声波振子。本实用新型利用超声波可以穿透特定厚度石英的特性，采用双层槽结构，外层槽设置成水浴槽，工件及药液则在石英内槽反应。配置超声波振子能够利用水能传导超声波，穿透石英槽，使超声波传导至内槽药液中，对工件进行超声波清洗。此清洗过程中，超声波振子不与石英内槽内的药液直接接触，可有效避免超声波振子的腐蚀以及药液的高温影响，大大地延长了使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多面 间接性 超声波 清洗 | ||
【主权项】：
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