[实用新型]一种便于拆装掩膜片的溅射镀膜机有效
申请号: | 202222520814.0 | 申请日: | 2022-09-23 |
公开(公告)号: | CN218755991U | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 王勇 | 申请(专利权)人: | 成都四盛科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/34 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610000 四川省成都市经济技*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种便于拆装掩膜片的溅射镀膜机,包括溅射镀膜机本体、活动安装板和连接机构,所述溅射镀膜机本体的内部安装有掩膜片本体,且掩膜片本体外侧的边缘处设置有固定框,所述活动安装板与固定框之间通过卡槽的方式相连接,且活动安装板呈“U”字形结构,并且活动安装板远离掩膜片本体垂直中轴线一侧的中部开设有具有限位作用的固定槽,所述连接机构用于对活动安装板与溅射镀膜机本体之间进行限位。该便于拆装掩膜片的溅射镀膜机,便于将掩膜片本体安装咋子溅射镀膜机本体的内部,紧固性好,防止掩膜片本体在溅射镀膜机本体的内部产生松脱,同时便于对掩膜片本体进行拆卸更换。 | ||
搜索关键词: | 一种 便于 拆装 膜片 溅射 镀膜 | ||
【主权项】:
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