[实用新型]一种防震悬吊暂存装置

摘要

本实用新型提供了一种防震悬吊暂存装置，包括与安装面固定的轨道、与所述轨道滑动配合的悬吊结构、固定于所述悬吊结构末端的支架以及固定于所述支架上的承载盘面，所述承载盘面包括盘面本体和安装板，所述盘面本体与所述安装板之间设有若干防震垫，所述防震垫包括弹性柱、固定于所述弹性柱顶部的第一定位片、固定于所述第一定位片的第一连接螺杆、固定于所述弹性柱底部的第二定位片以及固定于所述第二定位片的第二连接螺杆，所述盘面本体与所述第一连接螺杆固定连接，所述安装板与所述第二连接螺杆固定连接。本实用新型能够通过防震垫起到减震作用，防止由于搬运车行驶产生的微震动传递至承载盘面，进而有效保证晶圆盒内的晶圆片不受损坏。