[实用新型]一种电弧离子镀的圆环靶材

摘要

一种电弧离子镀的圆环靶材。所述电弧离子镀的圆环靶材包括靶材，磁靴，中心磁铁，以及电磁线圈。所述靶材包括本体，以及通孔。所述中心磁铁位于所述通孔内且与所述通孔的内侧壁间隔设置，所述中心磁铁用于提供轴向的磁场，所述中心磁铁上粘贴有一层防有害物质蒸发层。所述中心磁铁的磁场方向与所述电磁线圈之间形成会切磁场。中心磁铁使得电子弧斑在运动到所述通孔的边缘时，不会掉落到所述通孔中导致放电中断，而是会被磁约束至靶材的边缘，这样运动区域最大，靶材利用率高，又可以改善弧斑运动，提高膜层品质。所述靶材呈环形结构来代替目前大量使用的圆盘靶材，以使靶材利用率更合理，弧板运动更弥散均衡。