[实用新型]一种修整器清洗装置和化学机械抛光设备有效
| 申请号： | 202222565205.7 | 申请日： | 2022-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN219025133U | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 刘远航;马旭 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B1/04;B08B13/00;H01L21/67;B24B53/017;B24B37/10;B24B37/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种修整器清洗装置和化学机械抛光设备，修整器清洗装置包括：清洗槽，用于收集流体和污染物；至少两层清洗组件，设置在清洗槽的内侧壁，用于在修整器至少部分位于清洗槽内部后修整器与修整器清洗装置相对运动从而至少清洗修整器的侧面，其中，不同层的清洗组件处于不同高度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 修整 清洗 装置 化学 机械抛光 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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