[实用新型]微型流体设备

摘要

本公开涉及微型流体设备。微型流体设备包括：具有限定第一面的外围表面单片主体、在单片主体中的流体腔室、从单片主体的外围表面延伸并且与流体腔室流体连通的第一流体开口、在单片主体上方延伸并且附接到第一面的帽元件、在帽元件与单片主体的第一面之间延伸的致动器腔室、在单片主体中在第一面与流体腔室之间延伸的膜区域、和在第一面上、膜区域上方、致动器腔室内部延伸的压电致动器元件。膜区域的至少一个第一区包括多晶硅的第一部分和多晶硅的第二部分。膜区域的第二区包括多晶硅的第三部分。第一部分的第一晶体结构具有比第二部分的第二晶体结构和第三部分的第三晶体结构更小的平均粒度。