[实用新型]一种炉管装置

摘要

本实用新型公开了一种炉管装置，包括：双层反应管，所述双层反应管设有内层反应管和罩于所述内层反应管外周上的外层反应管，所述内层反应管中用于放置垂直装载有多层产品的晶舟，所述外层反应管与所述内层反应管之间形成空腔，所述内层反应管的第一侧壁上纵向设有多个进气孔，所述内层反应管相对所述第一侧壁的第二侧壁上纵向设有多个出气孔，所述空腔包括相互隔离的第一空腔和第二空腔，所述第一空腔连通所述进气孔，所述第二空腔连通所述出气孔，所述第一空腔的底部上设有反应气体入口，所述外层反应管的顶部上设有连通所述第二空腔的排气口。本实用新型能有效解决因负载效应造成的产品上薄膜厚度不稳定的问题，并增加产率。