[实用新型]一种CVD反应器的支撑支架有效

专利信息
申请号: 202222600038.5 申请日: 2022-09-29
公开(公告)号: CN218236835U 公开(公告)日: 2023-01-06
发明(设计)人: 赖学明 申请(专利权)人: 苏州耀德半导体有限公司
主分类号: F16M11/04 分类号: F16M11/04;F16M11/24;F16M11/42;H05K7/20
代理公司: 苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙) 32623 代理人: 柯兴宇
地址: 215000 江苏省苏州市苏州工业园区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种CVD反应器的支撑支架,包括支撑板,所述支撑板底部的四周均活动连接有万向轮,所述支撑板的顶部活动安装有反应器主体,所述支撑板的表面固定连接有液压伸缩杆,所述液压伸缩杆的活动端贯穿支撑板,所述液压伸缩杆的底部固定连接有支撑架,所述支撑板内设置有散热风机,所述支撑板的顶部固定连接有固定板。本实用新型的有益效果为:本实用新型能够通过设置液压伸缩杆和支撑板的配合使用,液压伸缩杆带动支撑板向下移动,增加底部的支撑力度,从而抬高反应器主体的高度,且底部增加支撑力度,防止倾斜,方便使用,且同时固定板和活动板对反应器主体的两侧进行限位,方便反应器主体输送的时候减少晃动,增加限位。
搜索关键词: 一种 cvd 反应器 支撑 支架
【主权项】:
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