[实用新型]一种CVD反应器的支撑支架有效
申请号: | 202222600038.5 | 申请日: | 2022-09-29 |
公开(公告)号: | CN218236835U | 公开(公告)日: | 2023-01-06 |
发明(设计)人: | 赖学明 | 申请(专利权)人: | 苏州耀德半导体有限公司 |
主分类号: | F16M11/04 | 分类号: | F16M11/04;F16M11/24;F16M11/42;H05K7/20 |
代理公司: | 苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙) 32623 | 代理人: | 柯兴宇 |
地址: | 215000 江苏省苏州市苏州工业园区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种CVD反应器的支撑支架,包括支撑板,所述支撑板底部的四周均活动连接有万向轮,所述支撑板的顶部活动安装有反应器主体,所述支撑板的表面固定连接有液压伸缩杆,所述液压伸缩杆的活动端贯穿支撑板,所述液压伸缩杆的底部固定连接有支撑架,所述支撑板内设置有散热风机,所述支撑板的顶部固定连接有固定板。本实用新型的有益效果为:本实用新型能够通过设置液压伸缩杆和支撑板的配合使用,液压伸缩杆带动支撑板向下移动,增加底部的支撑力度,从而抬高反应器主体的高度,且底部增加支撑力度,防止倾斜,方便使用,且同时固定板和活动板对反应器主体的两侧进行限位,方便反应器主体输送的时候减少晃动,增加限位。 | ||
搜索关键词: | 一种 cvd 反应器 支撑 支架 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州耀德半导体有限公司,未经苏州耀德半导体有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202222600038.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种影像测量仪的重力平衡机构
- 下一篇:一种带有喷嘴的CVD反应器