[实用新型]一种带有喷嘴的CVD反应器

摘要

本实用新型涉及一种带有喷嘴的CVD反应器，包括炉体、CVD反应器、传动组件、公转喷嘴组件和自转喷嘴组件，炉体的顶部固定安装有传动箱；传动组件设置在传动箱的内部，公转喷嘴组件设置在CVD反应器外侧的底部，自转喷嘴组件设置在公转喷嘴组件的两端；传动组件用于带动CVD反应器进行旋转；公转喷嘴组件带动自转喷嘴组件进行旋转。本实用新型的有益效果在于，在CVD反应设备技术领域中，通过外界的设备将原料气输送到CVD反应器中，再驱动传动组件带动CVD反应器进行旋转进行充分的混合原料气，同时利用公转喷嘴组件和自转喷嘴组件，使得原料气更加均匀的喷入炉内，大大的增加设备的实用性，提高工作效率，有利于实际的应用与操作。