[实用新型]一种用于单晶炉复投筒的稳定设备有效
申请号: | 202222606087.X | 申请日: | 2022-09-30 |
公开(公告)号: | CN218372618U | 公开(公告)日: | 2023-01-24 |
发明(设计)人: | 马潇;黄永金;韩飞宇;王淼;贾海洋;张强;周宏邦;娄中士;王立刚;王彦君;孙晨光;田旭东 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环领先半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B29/06 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型属于单晶制造辅助设备技术领域,涉及一种用于单晶炉复投筒的稳定设备,包括稳定台以及用于固定所述稳定台的固定杆,所述稳定台的顶部与复投筒底部的锥台连接,所述固定杆可带动所述稳定台位移,以使所述稳定台贴合所述锥台。本实用新型的有益效果是,在复投筒底部设置稳定台以及多个连接件,使复投筒从倾斜状态快速精准地调整为竖直状态,并可避免人员直接接触复投筒,也减少了因污染问题导致的品质缺陷,同时减少了安全事故的发生;通过移动组件控制固定杆位移进而控制稳定台与锥台精准、快速贴合,最大限度减少或避免因复投筒晃动导致摩擦产生金属杂质,提高硅单晶质量,缩短复投调整时间,减少人员负重,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 单晶炉复投筒 稳定 设备 | ||
【主权项】:
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