[实用新型]一种载具

摘要

本实用新型公开了一种载具，其技术方案要点是：包括载物盘，所述载物盘的底面设置有固定管；下料组件，所述下料组件设置在所述载物盘的顶面，用于将所述载物盘上的晶圆取下，通过设置的载物盘和活动块相互配合，使得活动块的顶面与晶圆的底面接触，通过设置的卡接板、旋转块、调节孔、固定块、安装槽、安装柱、第二弹簧、卡接孔和卡接柱相互配合，使得卡接板向上移动同时使得卡接孔与卡接柱分离，通过设置的旋转块、支撑柱和卡接板相互配合，即可将卡接板转动九十度，通过设置的第一弹簧、活动槽、活动块、连接块和连接槽相互配合，使得晶圆与载物盘之间出现间隙，而后工作人员使用镊子将晶圆从载物盘上取下，达到对晶圆的下料效果。