[实用新型]过滤装置及真空沉积设备

摘要

本实用新型提供一种过滤装置及真空沉积设备，涉及真空沉积技术领域。该过滤装置包括过滤罐和送粉组件，过滤罐内设有过滤组件，过滤组件将过滤罐的罐内空间分隔为过滤腔体和洁净腔体，过滤罐与过滤腔体相应的罐壁设有进气口、与洁净腔体相应的罐壁设有抽真空口；送粉组件的送粉口与过滤腔体连通，用于向过滤腔体内送入阻燃粉体。该真空沉积设备，包括真空舱室、抽真空装置和上述过滤装置，过滤装置的进气口与真空舱室连通、抽真空口与抽真空装置的抽气端口连通。该过滤装置中的送粉组件向过滤腔体内送入的阻燃粉体能够阻止反应物颗粒燃烧和爆炸，相应确保过滤装置及真空沉积设备的正常运行，并提高其使用安全性。