[实用新型]一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置有效
| 申请号： | 202222629874.6 | 申请日： | 2022-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN218368767U | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 | 申请（专利权）人： | 河南通用智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B65B69/00 | 分类号： | B65B69/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 郑州银河专利代理有限公司 41158 | 代理人： | 安申涛 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市高新技术产业*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种多功能晶圆贴膜撕膜一体化装置，属于晶圆生产技术领域，包括底座，所述底座的上方连接有用于对晶圆位置限定的定位座，所述底座的一侧连接有滑动板，所述滑动板前后滑动在底座上，所述底座与滑动板之间设置有连接在滑动板上的活动板，所述活动板的一侧连接有安装架，所述安装架的上连接有用于实现对晶圆撕膜和贴膜的处理机构，所述处理机构位于定位座的上方；本实用新型撕膜辊与定位座上晶圆先接触对其撕膜，随后膜辊上的膜体经过压膜辊贴在晶圆上，从而完成对晶圆的撕膜贴膜操作，实现对晶圆一体化加工，避免了对晶圆撕膜贴膜需要两个步骤实现的情况，节约了大量时间，有效的提高了对晶圆加工的工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多功能 晶圆贴膜撕膜 一体化 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河南通用智能装备有限公司，未经河南通用智能装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202222629874.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种整体吊带吊装装置
- 下一篇：一种混凝土回弹仪的定位机构
