[实用新型]晶圆加工过程中定心装置有效
| 申请号： | 202222646964.6 | 申请日： | 2022-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN218402624U | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 焦点;董和平;兑志魁 | 申请（专利权）人： | 郑州轨道交通信息技术研究院 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 郑州浩德知识产权代理事务所(普通合伙) 41130 | 代理人： | 柏琼琼 |
| 地址： | 450001 河南省郑州市*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型属于转运晶圆定心设备的技术领域，具体为晶圆加工过程中定心装置，支撑平台上竖向设有直线模组，直线模组移动端固定连接有放置平台，放置平台上设有晶圆放置框，支撑平台上间隔固定连接有四组支撑柱，四组支撑柱上固定连接有辅助板，辅助板上间隔固定连接有两组滑动轨道，两组滑动轨道上滑动连接有四组第一滑动块、四组第二滑动块，四组第一滑动块、第二滑动块上均固定连接有定位板，定位板上固定连接有定位轨道，辅助板底部间隔转动连接有连接有两组同步轮，两组同步轮间同步带连接，其中一组同步轮由定位电机驱动，定位板底部固定连接有与同步带配合的辅助过渡杆。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 过程 定心 装置 | ||
【主权项】：
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