[实用新型]一种蒸发源、蒸发源系统和真空镀膜设备

摘要

本实用新型涉及真空镀膜领域，公开了一种蒸发源、蒸发源系统和真空镀膜设备，该蒸发源包括舟体，所述舟体1的左右两侧均连接有电极部2，所述舟体1的内部设置有凹槽3，所述凹槽3的内部底端连接有电极板4，所述电极板4的顶部设置有多个石墨块5，所述石墨块5的内部设置有多个孔洞6，所述电极部2的第一端与所述舟体1电性连接，所述孔洞6的内部用于设置蒸发熔融容器。本实用新型中，实现了烧制镀膜材料，同时减少在膜上的穿孔，提高了产品合格率，提高了经济效益，并且即使在烧制的过程中坩埚破裂也不会造成材料的浪费，从而降低了生产成本。