[实用新型]一种具有安装卡盘的探针台有效
| 申请号： | 202222716562.9 | 申请日： | 2022-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN218382947U | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 肖体春;张作霖;陈树杰;陈艳;李付超 | 申请（专利权）人： | 深圳市森东宝科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R1/067;G01R31/28 |
| 代理公司： | 深圳维启专利代理有限公司 44827 | 代理人： | 石慧 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种具有安装卡盘的探针台，属于晶圆检测的技术领域，其包括操作台，操作台上开设有安装孔，操作台的边沿处开设有卸料口，且安装孔与卸料口连通，操作台上还可拆卸设置有安装卡盘，安装卡盘上具有安装载体以及手持板，安装载体设置于安装孔内，且安装载体上可拆卸连接有若干数量的探针组件，手持板位于卸料口内。本申请具有改善了安装卡盘从操作台中部拆卸困难的缺陷的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 安装 卡盘 探针 | ||
【主权项】：
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