[实用新型]一种激光刻蚀机用定位系统、激光刻蚀机及激光刻蚀系统

摘要

本实用新型公开了一种激光刻蚀机用定位系统、激光刻蚀机及激光刻蚀系统，所述激光刻蚀机用定位系统，包括搬运单元和CCD单元，搬运单元上设有定位单元，CCD单元设置在搬运单元的侧边上，定位单元与CCD单元通讯连接并用于调整激光治具的位置。所述激光刻蚀机，包括所述的激光刻蚀机用定位系统。所述激光刻蚀系统，包括多个所述的激光刻蚀机。所述激光刻蚀机用定位系统通过CCD单元和定位单元的联动实现快速定位，CCD单元拍照以确定定位结构实际所在位置，且定位结构所在位置也即激光治具和物料所在位置，将该位置与加工所需位置进行比对并反馈至定位单元，定位单元快速运动以调节激光治具的位置，以达到快速定位的效果。