[实用新型]镀膜机靶位移动挡板组件有效

专利信息
申请号: 202222752156.8 申请日: 2022-10-19
公开(公告)号: CN218710793U 公开(公告)日: 2023-03-24
发明(设计)人: 谭红东;蒋勤勇 申请(专利权)人: 深圳铭至真空镀膜技术有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22;C23C14/56
代理公司: 重庆卓茂专利代理事务所(普通合伙) 50262 代理人: 杨诚
地址: 518000 广东省深圳市宝安区松*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请涉及镀膜设备技术领域,公开了镀膜机靶位移动挡板组件。本申请中包括底座、镀膜机主体、回转内筒、防护罩和防护板,镀膜机主体的内侧壁上开设有多个靶位,防护罩的上表面开设有卡槽,且防护罩的卡槽内部表面固定连接有电磁铁,电磁铁的上表面吸附在镀膜机主体的内壁顶部,防护罩的内部表面卡接有电动伸缩杆,防护板的上表面开设有凹槽,且电动伸缩杆的输出端通过螺丝固定连接在防护板的凹槽内部,通过启动电磁铁将防护罩的上表面吸附固定在镀膜机主体的内壁顶部,使得该挡板组件在安装的过程中不会对镀膜机主体的内部造成损坏,因此在一定程度上提高镀膜机主体的使用寿命。
搜索关键词: 镀膜 机靶位 移动 挡板 组件
【主权项】:
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