[实用新型]一种蒸镀设备有效
| 申请号： | 202222768730.9 | 申请日： | 2022-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN218507887U | 公开（公告）日： | 2023-02-21 |
| 发明（设计）人： | 叶顺闵;林伯璋;蔡孟霖;许邦泓;萧维彬 | 申请（专利权）人： | 滁州钰顺企业管理咨询合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京七夏专利代理事务所(普通合伙) 11632 | 代理人： | 刘毓珍 |
| 地址： | 239200 安徽省滁*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体制造技术领域，具体涉及一种蒸镀设备，包括马达圆盘；行星架圆盘，所述行星架圆盘与马达圆盘传动连接；膜厚侦测器，所述膜厚侦测器与行星架圆盘固定连接，且位于行星架圆盘中部；行星架支架，所述行星架支架与行星架圆盘固定连接；行星架轴承套件，所述行星架轴承套件与行星架支架固定连接；行星架轨道，所述行星架轨道与行星架轴承套件转动连接；行星架轨道连杆，所述行星架轨道连杆末端固定设有L型铁件，所述L型铁件与行星架轨道固定连接；行星盘，所述行星盘上方设有行星盘联结轴杆，所述行星盘联结轴杆可套入行星架轴承套件，本实用新型能在晶圆蒸镀时旋转，使镀层更均匀，提升了蒸镀良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 | ||
【主权项】：
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