[实用新型]一种晶圆机器人用夹持结构

摘要

本实用新型公开了一种晶圆机器人用夹持结构，涉及到半导体加工技术领域，包括基座，所述基座通过驱动机构固定连接有夹持盘，所述夹持盘的上表面均匀开设有多个滑槽，多个所述滑槽的内壁均滑动连接有滑块，多个所述滑块的上表面均固定连接有卡紧块，多个所述滑块的内侧均固定连接有固定块，多个所述固定块的上表面均转动连接有连接杆，所述夹持盘上表面中心处转动连接有转轴，所述转轴的杆壁固定连接有转盘。本实用新型能够在晶圆机器人对晶圆进行搬运时，使转轴带动转盘转动，从而使得滑块在滑槽内向转盘处运动，带动卡紧块完成对晶圆的卡紧固定，防止在取放过程中滑落。