[实用新型]等离子体监测装置和等离子体处理装置有效
| 申请号： | 202222828560.9 | 申请日： | 2022-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN218647878U | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 金仁教;郑石源;李殷守;朱儇佑 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;G01N21/59;G01N21/77 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;宋志强 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请公开一种等离子体监测装置和等离子体处理装置。该等离子体监测装置包括：流量控制部分，包括从等离子体发射的发射光通过其被引入或排出的第一端口以及从等离子体发射的发射光通过其被排出或引入并且具有与第一端口的形状不同的形状的第二端口；透明玻璃窗，延伸到流量控制部分并且使发射光穿过；以及光谱装置，通过光纤光连接到透明玻璃窗并且检测发射光的强度。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 监测 装置 处理 | ||
【主权项】：
暂无信息
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