[实用新型]一种排气管道

摘要

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体涉及一种排气管道；包括喷淋箱、进气管和刮除模块，进气管与喷淋箱相连通，进气管具有出气口，刮除模块包括驱动组件、驱动轴、螺旋板和刮除板，驱动组件与喷淋箱固定连接，驱动轴与驱动组件固定连接，并位于喷淋箱的内部，螺旋板与驱动轴固定连接，且螺旋板贴合于进气管的内侧壁，刮除板与喷淋箱固定连接，且刮除板与螺旋板的外侧壁相贴合，通过螺旋板转动，对进气管的内侧壁进行刮除，直至将粘附于进气管内侧壁的废气颗粒排出进气管，获得避免废气颗粒堆积在进气管中，造成排气管堵塞，影响废气排放效率的效果。