[实用新型]一种切割状态检测机构有效
申请号: | 202222986338.1 | 申请日: | 2022-11-07 |
公开(公告)号: | CN218974075U | 公开(公告)日: | 2023-05-05 |
发明(设计)人: | 曹建伟;朱亮;卢嘉彬;王金荣;周锋;沈一丰;傅林坚;程远瑶 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | G01N3/58 | 分类号: | G01N3/58;G01L5/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 312300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型实施例提供了一种切割状态检测机构,属于切片机相关技术领域,所述切割状态检测机构包括:基座;进刀单元,所述进刀单元和基座之间可活动,且进刀单元可携带一晶棒沿第一方向向一切割件运动;以及负载传感器,所述负载传感器设置在基座上;其中,所述进刀单元以第二方向作用在负载传感器上,且第二方向和第一方向之间的夹角小于90度,通过负载传感器使得切割件相对于晶棒的形变状态被量化;达到对线网的线弓检测方便的技术效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 切割 状态 检测 机构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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