[实用新型]一种晶舟结构

摘要

本实用新型提供一种晶舟结构，用于承载晶圆，所述晶舟结构包括自下而上依次设置的多个承载单元，每个所述承载单元包括至少两个承载结构，至少两个所述承载结构呈圆周均匀分布形成一承载面；各所述承载结构沿所属的所述承载面的径向延伸，具有相对的第一端和第二端，属于同一所述承载单元的所述承载结构的所述第一端固定，所述第二端相互靠近。利用本所述晶舟结构承载所述晶圆，不仅能够承载到所述晶圆边缘，也能承载到所述晶圆的中心部分，所述晶圆在高温氧化过程中，其中心由于受到支撑力的作用，避免中心区域向下凹陷，所述晶圆边缘区域同样受向上支撑力的作用，阻止边缘区域热力形变的向下弯曲，进一步提高晶圆良率。