[实用新型]一种同时实现两种波段膜系的镀膜机有效
| 申请号： | 202223045617.4 | 申请日： | 2022-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN219079634U | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 刘朝旭;许小强;肖志全;马千里 | 申请（专利权）人： | 武汉优光科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/54;C23C14/50 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 祝蓉蓉 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新二*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种同时实现两种波段膜系的镀膜机，包括电子枪和坩埚，所述坩埚的上方自下而上依次设置有栅网、挡板、修正板和镀膜伞叶，所述镀膜伞叶的开口朝下，所述镀膜伞叶上设置有石英晶体膜厚控制仪和光学膜厚监控仪，所述修正板为椭圆形修正板，所述椭圆形修正板的长边的中间开设有两个对称于长轴的矩形孔，椭圆形修正板上与短轴相对的两侧均与短轴平行。在实现两种不同厚度膜系的镀膜的同时，能精准控制400nm滤光片和355nm滤光片的镀膜，从而弥补了光学膜厚监控仪和石英晶体膜厚控制仪各自在膜厚控制上面的不足，以实现精准的355nm滤光片和400nm滤光片的镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 同时 实现 波段 镀膜 | ||
【主权项】：
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