[实用新型]一种阻隔碳膜附着的装置有效
| 申请号： | 202223055609.8 | 申请日： | 2022-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN218967296U | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 曹宇;魏守冲 | 申请（专利权）人： | 磐石创新（江苏）电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B65B33/00 | 分类号： | B65B33/00 |
| 代理公司： | 北京东方昭阳知识产权代理事务所(普通合伙) 11599 | 代理人： | 吕燕 |
| 地址： | 221011 江苏省徐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种阻隔碳膜附着的装置，包括管道，所述管道的内部设置有残余碳膜吸附盘，所述残余碳膜吸附盘上方的管道通过轴承A和轴承B与管道转动连接，所述管道的顶端安装有气缸固定板，所述气缸固定板的顶部固定连接有摆动气缸，所述摆动气缸的底部设置有旋转固定板，所述摆动气缸的顶部一侧固定连接有固定杆，所述固定杆的另一端固定连接有旋转水接头。本实用新型装置采用的是金属密封和不锈钢制品，可在超高真空状态，以及高温环境下使用，不会对装置造成损坏；本实用新型有效阻隔碳分子，减少非必要镀膜区域成膜，减少清洗次数，减少维护时间，提高设备使用率，有效阻隔热源，标准法兰接口方便与其他设备对接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阻隔 附着 装置 | ||
【主权项】：
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