[实用新型]一种用于晶圆探针调针的勾拉装置有效
| 申请号： | 202223093575.1 | 申请日： | 2022-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN219369841U | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 刘红军 | 申请（专利权）人： | 浙江微针半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 浙江启明星专利代理有限公司 33492 | 代理人： | 张俊海 |
| 地址： | 314112 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于晶圆探针调针的勾拉装置，包括针状主体，针状主体顶端设有凸出的勾拉块，勾拉块的上下两侧均设有勾拉槽，且勾拉槽的槽底为弧形结构。本实用新型利用勾拉部上的勾拉槽来调节探针的位置，圆弧槽勾拉探针时不会损伤探针，直接勾住前后调节的探针针尖，调整到合适位置即可，方便快捷，大大提高了调针效率，保证探针卡在晶圆检测中的精准性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 探针 装置 | ||
【主权项】：
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