[实用新型]检测晶棒晃动的系统和晶体生长炉有效
| 申请号： | 202223119888.X | 申请日： | 2022-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN218910594U | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 陈俊宏 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06;G01B21/16;G01B11/14 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 季永杰 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种检测晶棒晃动的系统和晶体生长炉，检测晶棒晃动的系统包括待检件和距离检测组件，待检件适于连接于拉晶绳的下端，待检件具有至少三个检测面，多个检测面同轴设置且分别处于不同高度，第一检测面和第二检测面上下间距为h1，第一检测面和第三检测面上下间距为h2，h2＞h1，距离检测组件包括多个距离检测元件，每个距离检测元件的检测位置适于与第一检测面的外周沿上下正对，其中，每个距离检测元件用于检测其与位于其正下方的对应检测面之间的上下距离。根据本实用新型的检测晶棒晃动的系统，可以准确判断晶棒是否发生晃动以及晃动幅度大小，以便及时做出相应处理。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 晃动 系统 晶体生长 | ||
【主权项】：
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