[实用新型]IC载板电镀用除油设备有效
申请号: | 202223137921.1 | 申请日: | 2022-11-25 |
公开(公告)号: | CN218666365U | 公开(公告)日: | 2023-03-21 |
发明(设计)人: | 黄俊晴;赵国宏;周灿彬 | 申请(专利权)人: | 天水金浪半导体材料有限公司 |
主分类号: | C25D17/00 | 分类号: | C25D17/00;C25D21/00 |
代理公司: | 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) 11641 | 代理人: | 陆华 |
地址: | 741020 甘肃省天水市天水经*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种IC载板电镀用除油设备,包括新料罐、过渡罐和除油单元,所述除油单元包括第一除油单元、第二除油单元和第三除油单元,所述第二除油单元设于第一除油单元和第三除油单元之间,所述除油单元包括除油箱和连接于除油箱的喷淋组件,所述新料罐与第一除油单元连通,所述过渡罐包括第一过渡罐和第二过渡罐,所述第一过渡罐与第一除油单元和第二除油单元连通,所述第二过渡罐与第二除油单元和第三除油单元连通。通过设置三个除油单元,使得除油剂能够多次使用,提高除油剂的利用率,并且第一除油单元始终使用新的除油剂,保证了对IC载板的除油质量。 | ||
搜索关键词: | ic 电镀 设备 | ||
【主权项】:
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