[实用新型]IC载板电镀用除油设备有效

专利信息
申请号: 202223137921.1 申请日: 2022-11-25
公开(公告)号: CN218666365U 公开(公告)日: 2023-03-21
发明(设计)人: 黄俊晴;赵国宏;周灿彬 申请(专利权)人: 天水金浪半导体材料有限公司
主分类号: C25D17/00 分类号: C25D17/00;C25D21/00
代理公司: 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) 11641 代理人: 陆华
地址: 741020 甘肃省天水市天水经*** 国省代码: 甘肃;62
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摘要: 实用新型公开了一种IC载板电镀用除油设备,包括新料罐、过渡罐和除油单元,所述除油单元包括第一除油单元、第二除油单元和第三除油单元,所述第二除油单元设于第一除油单元和第三除油单元之间,所述除油单元包括除油箱和连接于除油箱的喷淋组件,所述新料罐与第一除油单元连通,所述过渡罐包括第一过渡罐和第二过渡罐,所述第一过渡罐与第一除油单元和第二除油单元连通,所述第二过渡罐与第二除油单元和第三除油单元连通。通过设置三个除油单元,使得除油剂能够多次使用,提高除油剂的利用率,并且第一除油单元始终使用新的除油剂,保证了对IC载板的除油质量。
搜索关键词: ic 电镀 设备
【主权项】:
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