[实用新型]疏通组件及蒸镀装置有效
| 申请号： | 202223137969.2 | 申请日： | 2022-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN219079631U | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 张成杰 | 申请（专利权）人： | TCL科技集团股份有限公司;广东聚华新型显示研究院 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H10K71/16 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 熊明 |
| 地址： | 516000 广东省惠州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供一种疏通组件及蒸镀装置。通过为线性蒸发源的喷嘴设置清除棒，其中清除棒的进气口与气源模块的输气口连通，使得气源模块可以向清除棒输送气体并从出气口排出，由于出气口靠近喷嘴设置，使得清除棒吹出的气流可以快速清除喷嘴内凝结堵塞的蒸镀材料；另外，驱动模块可以驱动清除棒运动至抵近喷嘴或伸入喷嘴内，使得出气口吹出的绝大部分或全部气流会进入喷嘴，有效避免了出气口的附近的气流耗散现象，增大了进入喷嘴内的气流量，还提高了进入到喷嘴内的气流速度，从而提高了喷嘴的疏通效率；此外，当喷嘴畅通时，驱动模块还可以驱动清除棒远离喷嘴，有效避免了清除棒对喷嘴的遮挡，提高了线性蒸发源的蒸镀效率。 | ||
| 搜索关键词： | 疏通 组件 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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