[实用新型]半导体废气供气组件和废气处理装置有效
| 申请号： | 202223153443.3 | 申请日： | 2022-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN218863494U | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 章文军;闫潇;杨春水;张坤;宁腾飞;王继飞;蔡传涛;席涛涛;杨春涛;陈彦岗 | 申请（专利权）人： | 安徽京仪自动化装备技术有限公司 |
| 主分类号： | F16L21/06 | 分类号： | F16L21/06;F16L21/08 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 贺爱琳 |
| 地址： | 241012 安徽省芜湖市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体废气处理技术领域，公开了一种半导体废气供气组件和废气处理装置。上述半导体废气供气组件包括：三通管、直线驱动件、刮刀、第一真空卡箍和第二真空卡箍；所述三通管的第一端口用于通过所述第一真空卡箍与气源设备可转动连接，所述三通管的第二端口用于通过所述第二真空卡箍与废气处理设备可转动连接；所述直线驱动件和所述三通管的第三端口连接，所述直线驱动件的输出端和所述刮刀连接，以使得所述刮刀可移动设于所述三通管的第二端和第三端之间的管路中。本实用新型通过使用真空卡箍，将三通管与气源设备以及废气处理设备可转动连接，使半导体废气供气组件可根据现场环境进行布设。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 废气 供气 组件 处理 装置 | ||
【主权项】：
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