[实用新型]晶圆竖直清洗装置

摘要

本公开提供一种晶圆竖直清洗装置，包括箱体、支撑机构和喷淋机构，支撑机构使晶圆呈竖直状态支撑于箱体内，喷淋机构向晶圆喷射清洗液，支撑机构包括主动轮、浮动轮对和从动轮对，主动轮在驱动件带动下自转，以支撑晶圆在竖直面内旋转，浮动轮对包括至少两个对称设置于主动轮两侧的第一轮，第一轮能在晶圆重力作用下自转且相对箱体沿第一轨迹移动，以使晶圆朝靠近主动轮方向移动，从动轮对包括至少两个对称设置于主动轮两侧的第二轮，第二轮在晶圆旋转过程中自转且对晶圆形成支撑。本公开不仅能够保证晶圆表面全面保湿及避免颗粒在晶圆底部堆积；而且避免了机械手臂松开晶圆后，晶圆在自身重力作用下碰撞主动轮和从动轮对，提升了晶圆良品率。