[实用新型]一种波长可调的OADM器件

摘要

本实用新型涉及波长可调的OADM器件。本实用新型从下自上依次为衬底层、底层波导芯层、中层波导芯层、顶层电极层；底层波导芯层包括2×2多模干涉耦合器、锥形输出/输入波导；中层波导芯层包括Si3N4光栅、锥形输入/输出波导、输入端/输出端直波导；本实用新型由Si3N4光栅通过布拉格条件进行波长的分离，通过层间耦合实现信号交互；通过热光调制使Si3N4光栅折射率发生变化，实现多种波长分离；通过结合多模干涉耦合器与布拉格光栅并构建双层结构，实现波长选择的功能并利用多模干涉耦合器进行不同通道的分光输出，且使用Si3N4材料制作光栅相比Si材料所使用的光栅周期更长，在实际制造工艺上更简易。