[实用新型]压力传感器有效
| 申请号： | 202223212784.3 | 申请日： | 2022-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN218646479U | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 吕萍 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;B81B7/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种压力传感器，该压力传感器包括：衬底，设置在衬底的第一侧上的第一电极层以及第一介质层，设置在第一介质层上的第二介质层，以及，设置在第二介质层上的第二电极层；衬底、第一介质层、第二介质层围设形成密封腔体，第一电极层的第一部分位于密封腔体内，从而构成第一电极；第二电极层中与第一电极对应的部分构成第二电极，第一电极与第二电极构成一组可变电容，充分利用了密封腔体的空间，增大了第一电极的极板面积，并且第二电极层中与第一电极对应的部分构成第二电极，不同的第一电极单独对应一个第二电极，从而提高了压力传感器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州敏芯微电子技术股份有限公司，未经苏州敏芯微电子技术股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202223212784.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种袋式电池钢带切条装置
- 下一篇：棘轮扳手
