[实用新型]微量气相氟化氢的进料装置有效
| 申请号： | 202223221332.1 | 申请日： | 2022-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN218890536U | 公开（公告）日： | 2023-04-21 |
| 发明（设计）人： | 田丁磊;崔帅;张岩;左春雨;陈鑫;李欣颖;李汉生;丁晨 | 申请（专利权）人： | 山东东岳化工有限公司 |
| 主分类号： | B01J8/02 | 分类号： | B01J8/02 |
| 代理公司： | 山东竹森智壤知识产权代理有限公司 37382 | 代理人： | 刘文容 |
| 地址： | 256401*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及氟化氢进料装置技术领域，具体涉及微量气相氟化氢的进料装置。所述的微量气相氟化氢的进料装置，包括沿氟化氢进料方向依次连接的氟化氢储罐、氟化氢气化器和质量流量计，所述氟化氢储罐与氟化氢气化器之间的管路上依次设置有减压阀和隔膜压力表，所述氟化氢气化器和质量流量计之间的管路上设置有伴热带，所述质量流量计连接氟化氢进料管路。本实用新型的进料装置，实现了微量气相氟化氢的进料，避免了因氟化氢通料不稳定对实验造成的干扰，大大提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 微量 氟化氢 进料 装置 | ||
【主权项】：
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