[实用新型]具有消磁功能的真空蒸镀成膜装置有效
| 申请号： | 202223266616.2 | 申请日： | 2022-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN218596488U | 公开（公告）日： | 2023-03-10 |
| 发明（设计）人： | 郑炳蔚;姜友松;王怀民;顾康鑫;杨运;程序雳;曹欣盛 | 申请（专利权）人： | 安徽其芒光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 苏州大成君合知识产权代理事务所(普通合伙) 32547 | 代理人： | 张印铎;杨新星 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开一种具有消磁功能的真空蒸镀成膜装置，涉及真空镀膜领域，真空蒸镀成膜装置包括：用于发射电子束的发射机构，发射机构包括通电后能放射电子的灯丝和用于容纳灯丝的盖板；用于盛放蒸发材料的盛放机构；用于产生磁场的电磁铁；设置于发射机构背离盛放机构一侧的扫描线圈，扫描线圈用于提供使电子束在盛放机构表面扫描的扫描磁场；与电磁铁相连用于为电磁铁供电的第一电源模块和与扫描线圈相连用于为扫描线圈供电的第二电源模块；第一电源模块和第二电源模块均设有消磁单元，消磁单元用于使电磁铁和扫描线圈消磁。本说明书所提供的真空蒸镀成膜装置，可以有效解决导磁部件磁化的问题，从而提高电子束蒸发的重复性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 消磁 功能 真空 蒸镀成膜 装置 | ||
【主权项】：
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