[实用新型]一种检测设备

摘要

本实用新型公开了一种检测设备，涉及半导体生产检测技术领域；而本实用新型包括呈圆形的转板，所述转板上贯穿开设有三个呈环形分布呈圆形的放置槽，其中一个所述放置槽正上方设有竖直设置的下料筒，所述转板正下方设有直径大于自身的固定板；本实用新型中电机通过立杆带动摆动板和摆动杆进行转动，使得摆动杆推动活动板进行转动，当摆动杆随之摆动板转动一圈后，将重新插设在活动板上的下一活动槽内，驱动轴间歇转动，当一个硅片从下料口排出后，下料筒内的硅片将会一个个自动间歇下料，可无需工作人员一个个进行下料，再进行检测，提高对半导体硅片的检测效率，减少工作人员的工作量。